第503章 时间就是金钱！特种气体之难（2 / 9）

而开始进行光刻加工的时候，需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。

刻蚀清洗，除了常用的几种特种气体，还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。

离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。

哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气，纯度都要比食品工厂的高很多。

于是乎。

有关部门就将工业气体，分成了大宗气体和特种气体这两大类。

将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务，从公司剥离了出去。

让公司专门负责，研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。

林林总总加一起。

要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。

需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。

真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。

用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。

这个任务，真是光荣又艰巨啊！

光荣在于研制特种气体，有力支撑龙国的高端制造业发展，是利国利民的一件大好事。

艰巨在于特种气体，是真不好研制。

就拿生产芯片来说。

从最开始制造硅片，将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆，就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。